US-Beschwerde: ASMLs wichtiges Chip-Werkzeug ist in China, ASML bestreitet dies

Bloomberg berichtet, dass der US-Handelsminister Howard Lutnick kürzlich die Spitzenfunktionäre von ASML vor der Möglichkeit gewarnt hat, dass eine der extremen Ultraviolett-(EUV)-Lithografiemaschinen des Unternehmens nach China gelangt ist. Diese Systeme sind derzeit die einzigen Geräte, die in der Lage sind, die fortschrittlichsten Halbleiterstrukturen herzustellen, und ihr Vorhandensein in China würde die seit der ersten Trump-Regierung geltenden Exportbeschränkungen verletzen.

US-Behörden behaupten, Beweise dafür zu haben, dass ASML EUV-bezogene Komponenten und Transportausrüstung nach China geliefert hat, obwohl sie sich geweigert haben, diese Details mit Bloomberg oder ASML zu teilen. Das Unternehmen bestreitet, dass eine solche Maschine in China existiert oder jemals existiert hat. Das Handelsministerium reagierte nicht auf Anfragen dazu, ob es Beweise für das Vorhandensein eines EUV-Systems auf chinesischem Boden besitzt.

Obwohl dies für Personen außerhalb der Halbleiterbranche irrelevant erscheinen mag, ist es von entscheidender Bedeutung. ASML, ein niederländisches Unternehmen, das der breiten Öffentlichkeit weitgehend unbekannt ist, nimmt eine dominante Position beim Aufbau der globalen KI-Infrastruktur ein, die sich von Nvidia und den großen Cloud-Anbietern unterscheidet. Es stellt die einzigen Geräte her, die für die EUV-Lithografie erforderlich sind, das Verfahren, das zum Drucken der mikroskopischen Schaltungsmuster benötigt wird, um hochmoderne Chips zu definieren.

Jeder High-End-Prozessor, der von TSMC, dem Auftragsfertiger, der Chips für Nvidia und Apple liefert, hergestellt wird, ist auf ASML-Tools angewiesen. Diese Systeme erforderten zwei Jahrzehnte und Milliarden von Dollar an Entwicklungskosten, und derzeit gibt es keinen alternativen Lieferanten. Dieses Monopol hat ASML zum wertvollsten börsennotierten Unternehmen Europas gemacht, mit einer Marktkapitalisierung von rund 700 Milliarden US-Dollar, angetrieben durch die steigende Nachfrage nach KI-Chips.

Das potenzielle Vorhandensein einer EUV-Maschine in China ist bedeutend, da es einen schweren Fehler der US-Exportkontrollen darstellen würde, die darauf abzielen, fortschrittliche KI-Fähigkeiten davon abzuhalten, Pekings militärische und industrielle Sektoren zu stärken.

Vor sechs Wochen, noch vor diesen Berichten, sprach ich mit ASML-CEO Christophe Fouquet über die Situation.

Fouquet erklärte, dass ASML jede von ihm gelieferte Maschine verfolgt und bestätigt, dass sie entweder von überwachten Kunden genutzt oder abgebaut und zurückgesendet wurden. Er erläuterte, dass das Unternehmen vor Jahren eine interne Sicherheitsfirewall eingerichtet habe, die Mitarbeiter mit Zugang zur EUV-Technologie von denen ohne solchen Zugang trennt. Chinesisches Personal sei bewusst von diesem Zugang ausgeschlossen. Er betonte, dass der Bau einer EUV-Maschine nur möglich war, weil 80 % der Technologie auf jahrzehntelangen Vorkenntnissen beruhten, während die restlichen 20 % – die Erzeugung des EUV-Lichts selbst – weitere 20 Jahre in Anspruch nahmen, um gelöst zu werden. Sein Argument lautete, dass Reverse Engineering ohne vorherigen Besitz unmöglich sei und noch nie eine solche Maschine in China gewesen sei.

Auch die kommerzielle Logik deutet darauf hin, dass ASML seine Exportlizenz nicht riskieren würde, um einen chinesischen Kunden heimlich zu beliefern. Das Unternehmen verkauft ältere Deep-Ultraviolett-(DUV)-Geräte nach China, eine Praxis, die es seit einem Jahrzehnt aufrechterhält. Fouquet beschrieb dies als strategische Entscheidung, um eine Generationenkluft aufrechtzuerhalten, die Geschäftstätigkeiten ermöglicht, ohne künftige Wettbewerber zu schaffen. ASML erwartet, dass etwa 20 % seiner Einnahmen für 2026 aus diesen erlaubten Verkäufen stammen. Das Risiko des EUV-Verbots aufgrund eines einzelnen illegalen Verkaufs würde diese Einnahmen und seinen Status als wertvollstes industrielles Monopol Europas gefährden.

Diese Punkte widerlegen die Anschuldigungen nicht definitiv. Die Regierung hat ihre Beweise noch nicht veröffentlicht, und die Urteilsbildung sollte bis zur Veröffentlichung dieser Informationen zurückgehalten werden.

Unter Lutnicks Führung stimmte das Handelsministerium Ende letzten Jahres zu, bis zu 150 Millionen US-Dollar in xLight zu investieren, ein Startup, das an der Entwicklung von Lichtquellentechnologien der nächsten Generation arbeitet, die ASMLs EUV-Monopol herausfordern könnten. Der CEO von xLight beschrieb das Unternehmen zuvor als zukünftigen Partner von ASML, der Hardware zur Integration in bestehende Systeme herstellt, anstatt sie zu ersetzen. Als ich Fouquet dies im Mai zur Sprache brachte, war er höflich, aber unbeeindruckt, was darauf hindeutet, dass ASML die Technologie von xLight nicht als Bedrohung für seine Marktführerschaft ansieht.

Es bleibt unklar, ob Lutnicks Druck auf ASML mit dieser Investition zusammenhängt. Es gibt keine öffentliche Verbindung, und die beiden Themen könnten unabhängig voneinander sein. Dennoch ist es wert zu prüfen, ob ein Bundesbeamter, der ein Monopol überprüft, während seine Agentur ein Startup finanziert, das darauf abzielt, die Kerntechnologie dieses Monopols zu stören, einen Interessenkonflikt darstellt.

xLight ist nicht der einzige Konkurrent in der Lithografie. Peter Thiel, der langjährige Verbindungen zum politischen Umfeld von Trump unterhält, hat Substrate unterstützt, ein Startup, das an EUV-Alternativtechnologien mit direkteren Wettbewerbsambitionen als xLight arbeitet.

Wie Bloomberg berichtete, schlägt ein parteiübergreifendes Gesetz, das sich derzeit im Kongress befindet, vor, alle ASML-Deep-Ultraviolett-(DUV)-Lieferungen nach China zu verbieten, die etwa 20 % der erwarteten Einnahmen von ASML für 2026 ausmachen. Das Gesetz verabschiedete im April einen wichtigen Ausschuss, und die Trump-Regierung hat noch keine offizielle Position bezogen.

Oben im Bild: ASML-CEO Christophe Fouquet